万业企业旗下双子“芯”——凯世通、嘉芯半导体共登SEMICON China 2023

2023年6月29日，半导体和电子行业年度盛会SEMICON China 2023在上海新国博中心盛大开幕。作为全球规模最大、最具影响力的国际半导体专业展，SEMICON China 2023将吸引世界各地主要半导体设备材料厂商，90000平方米总面积、1100多家参展企业、4200多个展位、20多场会议和活动的空前盛况也刷新了历年记录。

SEMICON China2023现场

作为国内集成电路核心装备领军企业，万业企业旗下嘉芯半导体和凯世通携核心产品、关键技术、解决方案重磅亮相这场汇聚中外行业领军人物和技术大咖的盛会。在E7175号展位，来自半导体产业链的参展嘉宾纷纷驻足参观，现场工作人员热情地介绍产品、与访客友好交流，共话集成电路产业发展机遇。

万业企业SEMICON China 2023展位

现场工作人员正在为来访同行介绍产品

为芯“注”力：“国产离子注入机第一梯队”凯世通重磅亮相

上海凯世通半导体股份有限公司成立于2009年，是万业企业股份有限公司旗下的高端集成电路离子注入机装备企业，其拥有国内首个获得验证验收的国产集成电路离子注入机大束流和高能离子注入机。不断增长的主流集成电路制造厂商订单量也见证着行业对凯世通的认可，凭借强劲发展势能，凯世通持续领跑国产低能大束流和高能离子注入机系列产品，已经成长为国产第一梯队核心设备厂商。

万业企业旗下凯世通SEMICON China 2023展位

低能大束流离子注入机iStellar-500系列产品

用途:

iStellar-500系列产品是凯世通推出的一系列低能大束流离子注入机，产品采用“通用平台+关键技术模块”研发模式，快速迭代升级并拓宽离子注入机产品线，覆盖不同芯片对离子注入的需求，定位于为客户提供更高可靠性、更低拥有成本的产品，并具有良好的产线工艺匹配能力和广泛的制程覆盖能力。

特点:

高精度注入角度控制、颗粒污染控制、实现-100°超低温注入、主流FAB产线批量生产

高能离子注入机iStellar-HE2000

用途:

iStellar-HE2000是凯世通推出的高能大束流离子注入机产品，采用“通用平台+关键技术模块”研发模式，高压加速、高注入角度精准度、纳米级颗粒污染控制等关键技术，满足芯片制造的高能离子注入需求。istellar-HE2000产品通过技术模块持续改进，为客户提供更高可靠性、更低拥有成本的产品。

特点:

高精度注入角度控制、颗粒污染控制、金属污染控制、零部件国产化自主供应

用芯“嘉”持：嘉芯半导体一站式解决方案展现硬实力

嘉芯半导体设备科技有限公司成立于2021年，由万业和全球半导体知名产业专家共同创立。现阶段旗下已组成嘉芯迦能子公司、嘉芯闳扬子公司与新产品研发部三大核心板块。嘉芯半导体将先后布局8吋/12吋半导体前道设备的研发制造，为当下主流成熟制程提供高性能的产品。目前公司已陆续向市场推出覆盖刻蚀机、薄膜沉积、快速热处理等多品类半导体设备，可为客户提供一站式解决方案。

集成电路前道设备的一站式解决方案

嘉芯半导体集成电路前道设备一站式解决方案

嘉芯半导体从全流程出发，覆盖CVD/PVD/刻蚀等主工艺设备 →真空泵→ 尾气处理设备，为客户构建一站式设备解决方案。

自2022下半年开始，嘉芯半导体多次中标多款设备，包含氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（PVD）以及快速热处理（RTP）等。

展会现场与参会嘉宾密切交流

在展会现场首日，万业企业旗下凯世通和嘉芯半导体的集成电路前道设备产品受到了参会嘉宾高度的关注与肯定，公司也与半导体产业链客户就项目合作、合作模式等进行深入探讨、交流。

展会现场与参会嘉宾密切交流

在未来，万业企业也将坚持贯彻“1+N”设备平台模式，以凯世通离子注入机为基础，以嘉芯半导体为产业延申触角，多方位布局集成电路核心装备，为更多客户提供一站式解决方案，为集成电路设备制造国产化添砖加瓦！